据半导体产业网，于2024年10月12日报道，天眼查显示，深圳中科飞测科技股份有限公司“光束整形系统”专利公布，申请公布日为2024年9月17日，申请公布号为CN118655710A。

   本申请实施例公开了光束整形系统，用于以较低成本将光源发出的光束整形为均匀性较高且线宽较窄的线光斑。本申请实施例包括：光源，用于发出初始光束；第一自由曲面镜，用于使所述初始光束中的能量均匀分布；第二自由曲面镜，用于调整从所述第一自由曲面镜出射的初始光束在第一轴向的尺寸，并使调整后的初始光束照射至待测表面形成线光斑，所述第一轴向与所述初始光束的光轴垂直或平行；其中，所述初始光束在第二轴向的尺寸由所述第一自由曲面镜调整或者由所述第二自由曲面镜调整，所述第一轴向与所述第二轴向垂直。