据半导体产业网,于2025年09月18日报道,9月26-28日,“2025新一代半导体晶体材料技术及应用大会”将于云南昆明举办。届时,北方华创微电子化合物外延部门负责人杨牧龙将出席会议,并带来《化合物半导体外延设备及工艺解决方案》的主题报告,敬请关注!
嘉宾简介
杨牧龙,北方华创微电子化合物产品负责人,主要负责化合物半导体CVD外延设备的产品研发。北方华创开发的多款硅外延、碳化硅外延、III-V族化合物MOCVD外延等产品均获得市场认可,部分已成为行业内主流首选。北方华创作为中国高端半导体装备的先行者,立足于产业链上游,凭借精良品质和卓越服务,坚持以客户需求为导向的持续创新,助推国内半导体产业的健康发展,带给产业无限可能。
报告前瞻
报告题目:化合物半导体外延设备及工艺解决方案
报告摘要:报告通过介绍以GaAs、InP、GaN、SiC等材料为代表的化合物半导体产业的主要工艺流程,提出CVD外延设备是化合物半导体器件所需要使用的核心关键设备。本报告通过权威机构的调研数据,展示了化合物半导体外延设备的国产化现状、主要技术难点和常用技术路线。以关键技术难点作为切入,提出了外延设备开发所需要具备的技术基础。最后,本报告介绍了北方华创在化合物半导体外延设备领域所做出的工作和成绩,包括GaAs/InP MOCVD、Micro-LED ROY MOCVD等化合物半导体解决方案。