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  产业资讯    
基于超表面设计的热辐射源实现芯片级中红外光谱传感
作者:CMH        来源:液晶太赫兹乐园微信公众号 
日期:2025-09-21    阅读次数:747
副标题:

据液晶太赫兹乐园微信公众号,于2025年09月11日报道,该文章发表于《PhotoniX》2025 年第 6 卷第 19 期,由暨南大学团队撰写,核心是提出基于超表面设计热辐射源(META 源)的芯片级中红外光谱传感技术。

传统微型光谱仪忽视光源与准直单元的微型化,团队设计的 META 源整合光源、色散元件与准直单元功能,以硅为基底构建 6×6 金属 - 介质 - 金属(MDM)子辐射源阵列,各子辐射源在 8-14μm 波段有特定吸收 / 发射特性且角度不敏感(容忍度达 40°)。

图1分为两部分,核心展示了微型化红外光谱传感的硬件架构与编码原理。a 部分为平台示意图,核心组件包括 6×6 阵列的子辐射源(META 源)、微型加热器、液体样品池和微红外相机,所有组件同轴放置。其中,META 源基于金属 - 介质 - 金属(MDM)超表面修饰黑体,加热器控制温度,样品池位于源与相机之间,通过拍摄子辐射源的红外图像,将样品的光谱吸收信息编码到图像中。b 部分展示了单模(SM)和双模(DM)MDM 超表面的结构示意图,以及 6×6 子辐射源阵列的热成像图,子辐射源以(行号,列号)标注,为后续光谱解码提供 “二维码式” 空间坐标。

图2聚焦单模(SM)和双模(DM)两种 MDM 子辐射源的光学性能,验证其光谱调控能力。a 部分为 6 个 SM 子辐射源的实测吸收光谱,共振波长覆盖 8.46-13.12μm,线宽 360-750nm,与模拟结果一致(因制备误差略有吸收下降),对应子辐射源标签为(5,1)至(5,6)。b 部分为这 6 个 SM 子辐射源在 373K 下的计算发射光谱,发射峰与吸收峰完全匹配,符合基尔霍夫热辐射理论。c 部分为 6 个 DM 子辐射源的实测吸收光谱,每个子辐射源在目标波长范围内有两个共振峰,由大小 Au 圆盘直径调控。d 部分为 DM 子辐射源在 373K 下的计算发射光谱,发射带宽比 SM 更宽,平均强度更高,可提升传感信噪比;图中插图为 SM 和 DM 子辐射源的扫描电镜(SEM)图像,直观展示其微观结构。

图3通过实验与模拟对比,验证热成像的编码效果及样品对成像的影响。a 部分为实验装置实物图,显示微红外相机(HIKMICRO P20MAX,分辨率 50mK)、液体池、META 源同轴放置,整体尺寸接近智能手机,相机实时成像可通过手机读取,体现便携性。b 部分为四组对比实验的模拟与实测热成像:373K 下 SM 子辐射源阵列、373K 下 DM 子辐射源阵列、523K 下 DM 子辐射源阵列、373K 下含花生油样品的 DM 子辐射源阵列。结果显示,DM 阵列成像特征更丰富、对比度更高;523K 时因边缘热积累,子辐射源边缘 emissivity 升高(373K 无此现象,故后续实验设为 373K);加入花生油后,成像与无样品时差异显著,证明样品吸收可被编码到图像中。

图4展示技术在定性分类与定量检测中的实际性能,覆盖有机溶剂、药物和混合溶液三类场景。a 部分为 6 种有机溶剂(甲醇、乙醇、丙酮等)的 DM 阵列热成像,每种溶剂成像独特;通过构建图像特征数据库,对 60 个未知样品分类,准确率达 100%,且单次识别仅需 0.1s。b 部分为 3 种镇痛药(阿司匹林、对乙酰氨基酚、布洛芬)的成像与分析,因药物溶液成像相似度高,采用主成分分析(PCA)降维 + 二次判别分析(QDA)分类,60 个样品准确率 100%,PCA 得分图显示三类样品形成独立聚类。c 部分为乙醇 - 环己烷混合溶液的浓度检测,采用精细树回归(FTR)模型,浓度范围 0-100%,测试集决定系数 R²=0.99,均方根误差(RMSE)=0.013,跨批次验证性能稳定,证明定量检测能力。

图5验证 META 源的角度不敏感性,解决传统光谱仪需准直组件的问题。a 部分为 0-40° 成像角度下 DM 阵列的热成像,图像保真度高,且 30 分钟成像过程稳定,证明系统稳定性。b 部分为子辐射源(1,4)在 0-40° 下的计算吸收光谱,40° 时与 0° 光谱相关性仍 > 0.9,体现角度鲁棒性。c 部分为 6 种溶剂在 10-40° 与 0° 成像的相关性,均 > 0.8(高相关区间)。d 部分为基于 0° 数据库对 300 个不同角度样品(每种角度 10 张图)的分类结果,准确率 100%,证明无需准直组件即可实现可靠传感,适配现场便携场景。

图6拓展技术应用场景,展示其光谱成像能力。实验采用 423K 的 SM META 源(单发射带简化数据处理),样品为 HDPE 薄膜覆盖的钢环(钢环阻挡红外,HDPE 透射率随波长变化)。选择 3 个共振波长分别为 10.89μm、12.19μm、13.89μm 的子辐射源(3,3)、(1,5)、(5,4),对应 HDPE 透射率为 31%、18%、0%。成像结果显示:10.89μm 和 12.19μm 下可清晰看到钢环形状,13.89μm 下因 HDPE 完全不透射,钢环消失,证明技术可实现波长分辨的光谱成像,潜在用于遥感、防伪等领域。


    
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