会员注册 会员登陆
用户名
密 码
记注密码   忘记密码?
欢迎您访问激光与红外网! Welcome to LASER & INFRARED!
  明星企业
 
  支持单位
  展会专题
·2018年中国浮空器大会召开...
·首届空间激光技术与应用国...
·2018年量子技术国际研讨会...
·香山科学会议聚焦宽禁带半...
·中国电科举办集成电路核心...
·第四届新型光电探测技术及...
·“军队-2017”国际军事技术...
·Light Conference2017 在长...
·第八届中国无人机大会暨展...
  业界访谈
·中国航天科工光学工程技术...
·美媒:中国量子雷达可发现任...
·智能设备“偷走”多少隐私...
·港媒关注中国开通量子通信...
·清华博士后获超算杰出新人...
·第十四届王大珩光学奖颁奖...
·青年科学家胡伟达:聚焦新...
·洛马公司的ONYX外骨骼和微...
·洛马公司的ONYX外骨骼和微...
·洛马公司的ONYX外骨骼和微...
·纪念陈创天院士:让中国牌...
  技术动态    
Imec首次在300 mm晶圆片上直接生长2D材料
作者:cmh        来源:国防科技信息网 
日期:2018-12-15    阅读次数:171
副标题:

        据 刘彧宽 报道,今日半导体网站 2018年12月11日讯,2018 年是12月1日至5日,在美国加州旧金山举行 的IEEE第64届国际电子器件会议(IEDM 2018)上,比利时鲁汶微电子研究中心(IMEC)展示了一个300 mm 晶圆平台,使用2D材料制造金属-氧化物硅场效应晶体管(MOSFET)器件。 
        2D材料可以为器件尺寸的极端伸缩提供路径,因为它们具有原子级精度,并且几乎不受短沟道效应的影响。2D材料的其他潜在应用可能来自于将其用作后段工序(BEOL)的开关,它可以对集成流中允许的温 度预设设置上限。 
        Imec 平台集成了一个由二硫化钨(WS2)组成的晶体管沟道,这是一种2D材料,与其他大多数2D材料相比具有更高的导通电流能力和良好的化学稳定性。Imec在IEDM上的报告指出,这是首次金属有机化学气相沉积(MOCVD)在300 mm 晶圆片上生长WS2。MOCVD的合成方法可以在整个 300 mm 晶圆和最高迁移率的材料上实现单层精度的厚度控制。然而,MOCVD 生长的好处是以高温条件为代价的。为了建立一个符合BEOL要求的器件集成流,沟道材料从生长衬底到器件晶圆的转移至关重要。Imec 声称是第一个展示完整300 mm 单层 2D 材料转移的机构,这本身就非常具有挑战性,因为2D材料与器件晶圆的粘附性很低,而且转移的材料极薄(仅为0.7 nm)。
        转移过程是与德国慕尼黑附近的 Garching SUSS MicroTec 公司(生产光掩膜对准器、激光处理系统和晶圆粘结剂)以及美国密苏里州的 Brewer Science of Roll 公司(提供薄晶圆处理材料、工艺和设备)合开发的,采用了临时粘结和脱粘技术。WS2晶圆片使用一种特殊配方的材料(来自Brewer Science)临时粘附在玻璃载体晶圆片上。然后,将WS2单层从生长晶圆片上机械剥离,并在真空中再次粘结到器件晶圆片上。载体晶圆片用激光剥离去除。这种脱粘技术是2D材料可控转移的关键技术。 
        Imec的超越CMOS项目主管 Iuliana Radu 说:“用2D材料搭建用于MOSFET器件研究的300mm平台,并开发工艺步骤生态系统,加快了这些材料的技术应用。但仍有许多挑战有待解决,目前正在进行相关的研究和发展。主要的挑战包括缩放2D材料栅极电介质的等效氧化厚度(EOT),以及降低沟道的缺陷率以提高移动性。” 
        Imec在先进逻辑缩放方面的研究离不开与下列公司在 CMOS 项目的合作:格罗方德半导体、华为、英特尔、美光、高通、三星、海力士、索尼半导体解决方案、东芝、台积电和西部数据等。

    
发表评论  
姓名: 匿名
主题:
请点击查看全部评论!  注册新用户
  产经透视
 
·美军订购价值5亿美元的地狱火Ⅱ激光制导导弹
·DRS公司从美军获得总价值3.44亿美元的激光指示...
·中国航天科工第一支创业板公司锐科激光成功上...
·一种用于红外化学成像的新型激光源:有望助力...
 
  产业资讯
 
·俄罗斯成为世界首个将作战激光器投入使用的国...
·陆基“宙斯盾”系统发射“标准”-3 Block IIA...
·法国将在12月18日发射军事光学侦察卫星CSO-1
·Arete研制多光谱无人机传感器有效载荷,用于海...
 
   
  技术动态
 
·奥地利、意大利和瑞典采用量子点按需单光子实...
·我国首次实现保真度超99.99%原子量子态操控
·DARPA着眼可信半导体制造
·科学家提出超灵敏纳米探测新技术
 
  技术专题
 
·量子雷达会改变空战的历史吗?
·原子射流:第一个极紫外光聚焦透镜
·世界上最小的光学陀螺仪
·共价改性二维砷在光电领域具有良好的发展前景...
 
 
首页 激光与红外杂志 产业报道 光电技术 企业展台 产品展示 供求市场 展会专题 最新公告 关于我们
您是 位访问者